2026年03月13日
材料,プロセス技術,AI＆データ,大学・研究機関
ARIM 高度デバイス領域/μSIC合同研究会 半導体デバイス・プロセス開発におけるデータ利活用
文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域と東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）は、デバイス・プロセス開発におけるデータ利活用をテーマとした合同研究会を開催します。先端加工技術や計測データ利活用の最新動向を共有し、デバイス・プロセス開発の高効率化、高度化に向けた課題と展望を議論します。研究会終了後に交流会も開催いたします。皆様ぜひご参加ください。
- 日時
- 2026年3月13日（金）13:00‐19:20（12:45開場）
- 場所
- RISE GATE NIHONBASHI
- 参加対象者
- 費用
- 無料 （交流会参加費2,000円、MEMSPC 会員企業は1 名無料）
- 申込締切
- 2026年3月6日（金）
- 募集期間
- - 〜 -
- 定員
- 会場80名
- お問合せ先
- （研究会事務局）
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）
大高剛一/早川昌子
koichi.ohtaka.e8@tohoku.ac.jp / masako.hayakawa.b1@tohoku.ac.jp
TEL 022-229-4113 / FAX 022-229-4116
- 主催
- 共催：文部科学省マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM）高度デバイス領域
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）
MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）
- 備考/注意事項
フライヤーPDF;../../vc-files/event/Tohokudaigaku0313flyer.pdf
お申込はこちらから;https://forms.gle/3qcFjsiPuyVxqwEY7
タイムテーブル
登壇者プロフィール
プログラム
| 時間 | 内容 |
| 13:00-13:05 | 主催者挨拶 東北大学μSIC教授 戸津健太郎 |
| 13:05-13:35 | 招待講演 東北大学AIMR准教授 赤木和人 |
| 13:35-14:05 | 招待講演 （株）エイゾス 創業者 河尻耕太郎 |
| 14:05-14:35 | 招待講演 産業技術総合研究所 研究主幹 栗原一真 |
| 14:35-15:05 | ARIM事業紹介（装置/データ利用、半導体基盤PF) |
| 15:05-15:35 | コーヒーブレイク ポスター展示 |
| 15:35-16:00 | 講演 香川大学 教授 寺尾恭平 |
| 16:00-16:25 | 講演 豊田工業大学 教授 佐々木実 |
| 16:25-16:50 | 講演 筑波大学 教授 末益崇 |
| 16:50-17:15 | 講演 東北大学 准教授 大野裕 准教授 森山雅昭 |
| 17:20~19:20 | 交流会 会場：RISE GATE NIHONBASHI ラウンジ |
